菊恩實業小編建議處理沸石轉輪中VOCs殘留還可以用：
2.高溫再生
一般情況下，晶片制造沸石轉輪的再生溫度為180-200℃，在此溫度下，高沸點的二甘醇胺等物質不能有效地從沸石轉輪內脫附，從而逐漸積聚在滾筒內。
通過對沸石轉輪系統高沸點物質聚集情況的研究，發現在沸石轉輪系統運行1個月后，滾筒內的確存在較大數量的有機物聚集，其聚集量約為6wt%。經有效高溫脫附后，有機物質的積聚量可減少40%~60%左右。結果表明，高溫脫附能較好地去除沸石轉輪中高沸點有機物。
如果高溫脫附溫度選擇過高，則會對沸石分子篩的骨架結構造成一定影響，從而影響分子篩的使用壽命。建議選用300℃左右高溫脫附，且相應的沸石轉輪內部配件均需采用可耐300℃高溫的密封配件。
3.再生洗滌
晶片制造工業中常用的有機材料一般都有很好的水溶性，可以用水洗再生的方法去除沸石轉輪中聚集的高沸物。
水洗再生能有效地提高沸石轉輪系統的治理效率，對工廠而言，水洗再生次數達到4~6次/年時，治理效率可達95%~99%。所以，適當增加定期水洗再生頻率，可以有效地防止沸石轉輪內高沸點物質的聚集，保持高治理效率。
分子篩在陶瓷纖維紙表面涂布，通常是用無機粘結劑來制作沸石轉輪，因此當水洗時，不僅沸石分子篩不會出現龜裂變形，而且也不會出現因分子篩脫落而造成的性能下降，使用壽命縮短等問題。
但水洗時要注意水質狀況，如果水中含有大量的鈣、鎂等離子，就會在沸石內部形成碳酸鹽，堵塞了沸石轉輪中的蜂窩狀孔道；水中微量重金屬物質、氯等也會對沸石造成毒化。
需要指出的是，并非所有沸石轉輪材料都耐水洗，企業在水洗再生前，應向沸石轉輪設備制造商做好相關咨詢工作。
4.高壓空氣凈化裝置
各企業在停機檢維修期間，采用高壓空氣吹掃沸石轉輪。但由于VOCs有機物通常吸附在分子篩孔洞內，不能被有效地去除，因此菊恩實業小編建議需要選用高壓空氣吹掃來清除沸石轉輪表面附著的塵埃，并應與上述處理方法配合使用。
